分子泵的接口選擇的小技巧

關(guān)鍵詞：分子泵，渦輪分子泵，分子泵組

分子泵是大多數(shù)物理、半導體、材料、生化等實驗室的常備設(shè)備，配合前級泵，如：隔膜真空泵、旋片真空泵等，主要目的是產(chǎn)出高真空應用于適合的場合。

市場上的分子泵基本都能達到E-8mbar真空度以上，但是其型號又分了很多種接口對應不通的真空度。究竟是分子泵的性能不夠還是接口的密封性的影響呢？其實大多分子泵的性能是完全可以滿足E-8mbar真空度，型號不同主要還是針對接口密封性。

CF接口的，銅密封分子泵，密封度的真空可以達到E-10mbar以上。CF接口，對于分子泵的性能是有要求的。

LF接口的，密封分子泵，密封度的真空通常在E-8mbar。其和分子泵的性能關(guān)系要求不高，主要是LF接口的密封度就在E-8mbar。

ISO-K/KF接口的，密封分子泵，密封度的真空通常在E-7mbar。其和分子泵的性能關(guān)系要求也不高，主要是接口的密封度就在E-7mbar。

因此，以上接口的條件，實際上就是選擇性價比高的分子泵的一個很好的參考指標。因地制宜的選擇適合實驗室的分子泵組。